无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室控管项目:
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
⒉ 能防止微尘粒子之产生。
⒊ 温度和湿度之控制。
⒋ 压力之调节。
⒌ 有害气体之排除。
⒍ 结构物与隔间之气密性。
⒎ 静电之防制。
⒏ 电磁干扰预防。
⒐ 安全因素之考虑。
⒑ 节能之考量。
⒒照度的的调节
并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。在高等级的无尘室中从天花板到地面,完全除去微粒子的空气须在0。洁净工作台:等级Class 1~100级。洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。与地板接触会污染衣服。如果需要戴手套,必须使用洁净室的无粉乳胶手套或者胶手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏,如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点,建议改用胶手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换,但不能在洁净室里更换,只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套,应该慢慢地把手套从手上退下来。
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