无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室控管项目：

   1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

   ⒉ 能防止微尘粒子之产生。

   ⒊ 温度和湿度之控制。

   ⒋ 压力之调节。

   ⒌ 有害气体之排除。

   ⒍ 结构物与隔间之气密性。

   ⒎ 静电之防制。

   ⒏ 电磁干扰预防。

   ⒐ 安全因素之考虑。

   ⒑ 节能之考量。

   ⒒照度的的调节

     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

分析国外试验资料可以认为

   ⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人

   ⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人

   ⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人

   ⑷ 无口罩发菌量：有口罩发菌量 1:7~1:14

   ⑸ 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：

   ⑹ 手术中人员发菌量 878个/ min.人

  所以，可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。