硅片清洗机的作业设计原理

清洗机的作业设计原理

硅片清洗机半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。 清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。蔬菜清洗机设备除电机、轴承等标准件外均采用不锈钢材料制作,完全符合出口食品卫生要求。此外，工业清洗机还可以满足电镀前、热处理前后、产品安装前的清洗作业要求。通常，在一些工作量很大的清洗作业中，工业清洗机表现出很大的优势。其工作原理可以概括为:待清洗工件表面存在的油污、污垢等杂质，在清洗机喷射水的机械力作用下，在热能和金属清洁剂的配合下，逐渐变湿、软化、分离，然后污垢颗粒被清洗液带走，从而达到清洗的目的。

超声波清洗机已广泛地应用于科学研究和工业生产

超声波清洗机已广泛地应用于科学研究和工业生产，特别是超声波清洗机，在许多部门都有广泛的应用。另外还有声化学，超声乳化，超声粉碎，超声凝聚，超声去毛刺，超声分离，超声加速化学反应等。

由于上述的超声波清洗机超声波都在一个相对较小的液体介质中产生并起作用，驻波、空化、结构及其它因素的影响，使得常规的测试仪表无法对超声波作用区的超声波声场进行有效的测量。例如，GB7965-87规定换能器应在自由场和远场条件下进行测量。

标准水听器经过校准,它能将作用在它上面的声压转换成相同频率及

标准水听器经过校准，它能将作用在它上面的声压转换成相同频率及波形的交流电压信号，此电压信号与声压的强度成正比。当将该水听器插入受超声波作用的液体介质中时，它就有一电压信号输出。经前置放大器不失真放大后，送入交流电压表。数字频率计同时测得超声波的频率，示波器可随时监视信号电压波形的变化。这一测量方法已被普遍采用了。

显然，这一方法是有效的，但却是昂贵和繁琐的，对操作者也有较高的技术要求，不能作为常规的测试手段。

超声波清洗机主要应用于电子、光学和领域

超声清洗是利用超声波在清洗液中的空化作用、加速度作用及直进流作用，产生的冲击，将浸没在清洗液中的工件内外表面的污物震落剥离下来。目前常用的超声波清洗机中，以空化作用和直进流作用为主。超声波清洗机主要应用于电子、光学和领域，用来清洗半导体器件、印制电路板、玻璃器具等。

超声波清洗机由超声波发生器、超声波换能器、超声清洗槽及控制电路组成。超声波清洗机主要利用超声波发生器产生超声波信号并传入超声波换能器，超声波换能器将超声波电能转换为高频机械振动并传入清洗液中，在清洗液中产生空化作用，从而达到超声波清洗的目的[4-5]。