仪器设计了阶段式真空(stepvacuum)

平时操作，若要将样品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr)，则抽真空的时间将变长而降低仪器的便利性，更增加仪器购置成本，因此一些仪器设计了阶段式真空(step vacuum)，亦即使电子、磁透镜及样品室的真空度依序降低，并分成三个部份来读取真空计读数，如此可将样品保持在真空度10-5pa的环境下即可操作。平时待机或更换样品时，为防止电子污染，皆使用真空阀(gun valve)将电子及磁透镜部份与样品室隔离，实际观察时再打开使电子束通过而打击到样品。

光圈衍射像差(Aperturediffraction)

光圈衍射像差(Aperture diffraction):由于电子束通过小光圈电子束产生衍射现象，使用大光圈可以改善。色散像差(Chromatic aberration):因通过透镜电子束能量差异，使得电子束聚焦后并不在同一点上。

电子束和样品作用体积(interaction volume)，作用体积约有数个微米(μm)深，其深度大过宽度而形状类似梨子。此形状乃源于弹性和非弹性碰撞的结果。低原子量的材料，非弹性碰撞较可能，电子较易穿进材料内部，较少向边侧碰撞，而形成梨子的颈部，当穿透的电子丧失能量变成较低能量时，弹性碰撞较可能，结果电子行进方向偏向侧边而形成较大的梨形区域。

新型高温材料MoSi2/Ti-6Al

新型高温材料 MoSi2 具有优良的高温化性能且硬度高，可作为 Ti-6Al-4V 合金表面的化涂层。但高温下该涂层与基体合金的界面稳定性较差，Si 元素的内扩散会导致 MoSi2 涂层快速退化，从而降低其化性能以及缩短其服役寿命。此外，合金元素的外扩散会导致在基体中形成 Kirkendall 孔，因而降低其力学性能及其与涂层的界面结合强度。因此，需要在 MoSi2 / Ti-6Al-4V 合金界面处制备阻扩散层，以延缓界面互扩散并提高涂层的服役寿命。采用 SEM 和 EDS 分析复合涂层的微观形貌、相组成、化学成分和元素分布等，可以研究涂层的化性能，分析复合涂层的化机理，探讨阻扩散层的作用机制及失效机理。