扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征

扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征（如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等）的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子，其中二次电子是主要的成像信号。图3为其成像原理图，高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。

场发射式电子的电子产生率与真空度有密切的关系

场发射式电子的电子产生率与真空度有密切的关系，其使用寿命也随真空度变差而急剧缩短，因此在样品制备上必须非常注意水气，或固定用的碳胶或银胶是否烤干，以免在观察的过程中，真空陡然变差而影响灯丝寿命，甚至系统当机。面像差为物镜中主要缺陷，不易校正，因偏离透镜光轴之电子束偏折较大，其成像点较沿轴电子束成像之高斯成像平面(Gauss image ne)距透镜为近。

散光像差由透镜磁场不对称而来，使电子束在二互相垂直平面之聚焦落在不同点上。散光像差一般用散光像差补偿器(stigmator)产生与散光像差大小相同、方向相反的像差校正，目前电子显微镜其聚光镜及物镜各有一组散光像差补偿器。

适当的工作距离的选择,可以得到的影像

适当的工作距离的选择，可以得到的影像。较短的工作距离，电子讯号接收较佳，可以得到较高的分辨率，但是景深缩短。较长的工作距离，分辨率较差，但是影像景深较长，表面起伏较大的样品可得到较均匀清晰的影像。 SEM样品若为金属或导电性良好，则表面不需任何处理，可直接观察。若为非导体，则需镀上一层金属膜或碳膜协助样品导电，膜层应均匀无明显特征，以避免干扰样品表面。金属膜较碳膜容易镀，适用于SEM影像观察，通常为Au或Au-Pd合金或Pt。而碳膜较适于X微区分析，主要是因为碳的原子序低，可以减少X吸收。

Ti-6Al

Ti-6Al-4V 合金经过热处理以改变其微观结构中 α 和 β 相的数量，微观结构将根据确切的热处理和加工方法而显著变化（三种常见的热处理工艺是轧机退火、双相退火和固溶处理和时效）。借助飞纳台式扫描电镜的 EDS-mapping 功能，可以获得各相中元素含量、分布状态，通过不同相中相稳定元素含量的差异（α 相中常固溶 Al、Sn，β 相中常固溶 V、Cr 等）及 BSE 图片的衬度差异能够分析 α 相和 β 相的微观结构。