扫描电镜的结构是什么?

扫描电镜的结构 由于扫描电镜的工作特性与透射电镜不同，所以它们的结构也有很大的差别。扫描电镜一般由电子光写系统、扫描系统、信号的检测及放大系统、图像的显示与记录系统、真空系统和电源系统组成。其中电子光学系统主要由电子、电磁聚光镜、光阑、样品室组成。与透射电镜的不同，它的作用不是用来成像的，而仅仅是用此获得一束高能量细聚焦的电子束，它是使样品产生各种信号的激发源。

微区成分分析而言,分辨率指能分析的小区域

对微区成分分析而言，分辨率指能分析的小区域；对成像而言，它是指能分辨两点间的小距离。SEM分辨率主要受三方面影响：入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说SEM分辨率指的是二次电子像的分辨率。

放大倍数：M = L/I，其中L是显像管尺寸，I是光栅扫描时相邻两点间距。M通过调节扫描线圈电流进行，电流小则电子束偏转角度小，放大倍数增大。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择，与分辨率保持一定关系。

二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。

有些探测器造价昂贵，比如Robins式背散射电子探测器，这时，可以使用二次电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。

新型高温材料MoSi2/Ti-6Al

新型高温材料 MoSi2 具有优良的高温化性能且硬度高，可作为 Ti-6Al-4V 合金表面的化涂层。但高温下该涂层与基体合金的界面稳定性较差，Si 元素的内扩散会导致 MoSi2 涂层快速退化，从而降低其化性能以及缩短其服役寿命。此外，合金元素的外扩散会导致在基体中形成 Kirkendall 孔，因而降低其力学性能及其与涂层的界面结合强度。因此，需要在 MoSi2 / Ti-6Al-4V 合金界面处制备阻扩散层，以延缓界面互扩散并提高涂层的服役寿命。采用 SEM 和 EDS 分析复合涂层的微观形貌、相组成、化学成分和元素分布等，可以研究涂层的化性能，分析复合涂层的化机理，探讨阻扩散层的作用机制及失效机理。