EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究

汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。

“薄膜是一种薄膜结构，可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而，由于极紫外光子的吸收，其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免，这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而，薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得，其值对厚度非常敏感。因此，我们研究了发射率对结构参数的依赖性，例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变Ru薄膜的晶粒尺寸，使用 Lorentz-Drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后，我们提出了一种开发具有更好热稳定性的 EUV 薄膜的方法，该薄膜可以承受高功率 EUV 光源。”

ADI近期出现了一波降价浪潮 ！！

1、用于光电二极管放大、电池供电仪表、多极滤波器、传感器、条码扫描器、音频#AD8606ARMZ、#AD8606ARZ，价格已经下降。

2. #AD8657ARMZ-R7在不久的将来呈下降趋势。

3、用于加热器控制、#LED调光控制、便携式及#battery供电设备#LTC6992系列产品，市场缺货严重，近期价格持续上涨。

4. Maxim和ADI将于2022年8月正式合并，行业交付时间延长40-50周。#DS3234系列和#ADUM系列正面临严重短缺，交货时间长和创纪录的价格。

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Microchip：恢复正常经营与创历史新高

用于汽车电子的微芯片#chips供不应求且非常昂贵。

1、8位车#MCU，如#PIC18F26K22-I/SS，过去半年的价格，不断刷新记录。

2、automobiles使用的以太网#chip #KSZ9031供不应求，价格再次波动至历史新高。

3、Shanghai开封时，微芯的#Ethernet芯片和#ATMEL #microcontroller陆续到达，价格略有下降，如#USB2514BI、#ATmega328P-AU等。

4、此外，由于原材料短缺，#Microchip交货时间延长了一年以上。所有新订单预计将于2023年到货。