EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究

汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。

“薄膜是一种薄膜结构，可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而，由于极紫外光子的吸收，其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免，这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而，薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得，其值对厚度非常敏感。因此，我们研究了发射率对结构参数的依赖性，例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变Ru薄膜的晶粒尺寸，使用 Lorentz-Drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后，我们提出了一种开发具有更好热稳定性的 EUV 薄膜的方法，该薄膜可以承受高功率 EUV 光源。”

未来的芯片需求，将来自什么应用？（一）

2022年才刚过一季，半导体市场却灾情不断，像是广达因PC电脑需求罕见单，苹果（Apple）传出需求疲弱而调降Iphone 13、Iphone SE和无线蓝芽耳机Airpods的产量，美系外资新出炉的报告也发出半导体库存需要修正的警示，预期力积电也可能面临客户砍单。

确实，半导体经济多少受新冠疫情再起和乌俄的影响，但事实是：评估半导体库存的，已悄然移转。

面对美系外资的评论，力积电董事长黄崇仁表示，现在是多元社会，不能用单一产品市场需求分析，如苹果并不是只出产手机，外资若还是以电脑与手机市场需求分析，则是落后的思想。

我格外认同这段话。近年数字经济已开始由汇流走向新分流，除了电脑和手机外，半导体的确有许多新方向可以让人作梦，像是元宇宙相关的AR/VR/MR、伺服器主机、新能源汽车和智能自驾车领域等，但目前大多的产业分析师仍以电脑与手机的产量作为半导体市场的评估标准，确实不公平。

举例来说，近期因永续节能而广受市场认同的电动车及智能自驾车的半导体就被忽略了。

汽车芯片分类

半导体和芯片密不可分，而汽车芯片依功能可分三类：运算芯片、功率转换芯片、传感类芯片。运算芯片通常用在发动机和底盘，尤其在自动驾驶感知上；好的功率转换芯片能减少电能流失；传感类芯片则是用在自动驾驶雷达和胎压检测等。

一台传统汽车所需的芯片数量约550个，电动车和有自驾功能的电动车平均需要1,200个半导体，从自驾到胎压监测，掌管车上的大小功能，因此，由汽车智能化带动的半导体市场热不容小觑。

另外是伺服器相关的半导体，2021年全年伺服器出货以亚马逊与Google成长为显著，合计拉货量增加三成；而根据《经济日报》的报导，总体经济影响市场需求，摩根大通下修PC出货量，而伺服器市场根据亚马逊和脸书的数据，预估全年出货量可以成长7%。

特斯拉希望通过修改软件功能，以应对缺“芯”难题

特斯拉CEO马斯克对外谈及了芯片问题，其表示当前供应链面临挑战，芯片方面特斯拉没有必要自己制造芯片，因为公司会与供应商合作，目前特斯拉已经使用了大量定制芯片。同时，特斯拉还将通过改写软件等方式减少芯片使用，以应对芯片供应难题。

稍早之前，媒体报道特斯拉软件团队能快速重写软件，令非短缺芯片替换短缺芯片，以达到减轻芯片短缺影响的目的。另外，强大的供应链也使特斯拉在议价等方面具备优势，因此当行业普遍“缺芯”时，特斯拉所受的影响较小。