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***过滤器更换完毕后需确认边框无渗漏现象,并用尘埃粒子计数器进行检测,达到技术指标后方可进行正常工作。
风淋室安装好之后不能随便移动位置,如果移动位置,会造成风淋室变形。
洁净实验室设计要求给洁净室加压,使洁净室保持在大气压的静压下,并设置空气压力梯度,使空气从清洁区域向非清洁区域流动。(注:正压差在一种情况下有所例外:即蒸镀机构在处理某些有害物质时要求房间处于负压)。
洁净实验室设计要求做好温湿度控制,因为洁净室实验需要控制温湿度以防止腐蚀、防止工作面冷凝,并减少放电。
洁净实验室设计要求必须安装HEPA过滤器,这对于控制污染至关重要。
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