电子制造业洁净室的特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。
千级无尘车间是什么意思?
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的Aji。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于Aji,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称级别中的千级。
千级无尘车间的标准,微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内千级无尘车间的意思。(1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗)。
无尘车间等级标准划分 洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯yi指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um~0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
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