洁净室空调

室内压力要求一般空调对室内压力无特殊要求，而洁净空调为了避免外界污染空气的渗入或不同生产车间不同物质的相互影响对不同洁净区的正压值均有不同的要求。在负压洁净室内尚有负压度的控制要求。

洁净空调系统材料和设备的选择、加工工艺、加工安装环境、设备部件贮存环境为了避免被外界污染均有特殊的要求。这也是一般空调系统所没有的。

气流流型：

气流流型检测是确定室内设备、设施对气流的影响，选择或改善气流流型使之产生zui小的湍流和zui大的清楚能力。

1）测点布置：

垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；

水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个；

乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个。

2）测试操作：

在各个测点用雾l化器根据布点位置进行发烟，在被测平面上移动发烟器，测试者目视观察随气流运动的烟雾变化情况。并用数码设备摄像记录测试情况。

尘埃粒子数/洁净度检测

按照检测操作流程和规范，使用红外线粒子计数器对洁净室或洁净区域进行尘埃颗粒的检测，取样点分布和取样次数应该根据面积空间大小合理进行检测，得出数值判定属于哪个洁净等级。检测开始前确保洁净室已经到达足够的自净时间，静态检测时避免减少人员走动。

高l效过滤器整性检测

高l效空气过滤器是洁净室净化系统的末端过滤器，空气气流组织经过层层净化，zui后经过高l效过滤器的出风口进入洁净室。所以，高l效过滤器完整性测试，在洁净室净化系检测中是相当重要的。高l效检漏，是为了确定高l效过滤器本身及系统安装是否密封良好，有无明显渗漏，一旦高l效过滤器及其安装有漏缝隙，会造成未经高l效过滤净化的空气在风压作用下，直接输送进入洁净室，等于没有阻隔到0.5u的尘埃例子，造成洁净室颗粒物超标。如发现这类缺陷，应采取补救措施或更换高l效过滤器。