什么是洁净室检测机构
——什么是洁净室检测机构——
跟着国内外电子、食物及化妆品等职业对出产环境的要求不断提高,洁净室工程在规划和验收投入使用后,为保证洁净室使用过程中始终能坚持规则的空气洁净度检测等级和归纳功能参数要求,投入运行后的洁净室的是常监测和定时的归纳功能检测是十分必要的,并且QS年检的时分,其间车间空气洁净度的检测,必须要经过有资
质的第三方检测组织进行检测。微粒计数器测试法半导体业方面,早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。
{洁净室检测}
根据生产和科研的要求对室内空气环境的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数都进行控制的房间叫洁净室.洁净室的四大技术要素就是:
粗效,中效和***三级过滤;
足够的净化送风量;
室内正压的建立和维持;
以及終端***或超***过滤器的设置.
根据生产和科研的要求对室内空气环境的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数都进行控制的房间叫洁净室.洁净室的四大技术要素就是:
粗效,中效和***三级过滤;
足够的净化送风量;
室内正压的建立和维持;
以及終端***或超***过滤器的设置.
在HEPA过滤器的进风侧(上游侧)引入PAO气溶胶,对空气净化系统检漏可直接把PAO烟雾放入空调器内,注意不要被空调器内的过滤器吸附。对线性读数光度计来说,气溶胶发尘的浓度为10-100μg/L。浓度低于20μg/L时,检漏的灵敏度欠佳;高于80μg/L时,长时间检测会过度污染过滤器。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。所以过滤器上风侧发放的浓度一般为20-30μg/L即可。调节气溶胶发生器输出
阀的开合度,直至确认上游浓度达到20-30μg/L,并保持相对稳定。设定100%基准。但若气溶胶的量发生小,达不到规定的浓度,可将发生器放在被测HEPA系统风机箱送风段内。对于FFU层流罩和生物安全柜等可用4B发生器,将气溶胶引入过滤器的上游。然后用光度计的采样头扫描过滤器的出风侧以及支架。检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义,此项检查对ISO6级、ISO5级及更高的级别的洁净室来说尤其必要。按ISO14644描述:扫描时速度约2cm/s,扫描按直线来回往复地进行,扫描的覆盖面之间略有重叠。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器周边、过滤器边框与安装架构之间的密封处及安装架构的结合点。当上游浓度正确,连10-4μg/L的微小渗漏都可在光度计上反映出来。泄漏处经用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再进行扫描巡检,仪表指示为“0”,表明漏点已被堵住。一般检查一个过滤器在3-5分钟内就可完成。
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