洁净室检测{电子厂房检测}

——电子厂房检测——

    随着科学技术的发展，电子产品生产日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。现代电子产品要求微型化、高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作，其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格。

     电子产品的种类繁多，随着微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠的电子产品品种的增加，需要在空气悬浮粒子受控环境中进行全过程生产或部分生产的电子产品主要有:半导体材料及其器件生产、集成电路生产、化合物半导体生产、光电子生产、薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD生产，微硬盘驱动器HDD生产、等离子显示器PDP生产、磁头和磁带生产、光导纤维生产、印刷电路板、芯片制造、封装等。(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。

      电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。

{洁净室检测}

滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。

过滤器的分类：

        按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚***、***（HEPA）和超***（ULPA）六类过滤器。

过滤器的使用和更换：

       粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备（如表冷器和加热器等）和中效以及更高过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。它除去的是≥5.0μm的粒子

       中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚***、***过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0μm的中小粒子。一般情况下，中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。

1、空气过滤

1)空气过滤器是当前空气净化重要的手段。所有送入洁净室的空气应经初效、中效、***或亚***过滤器的过滤。

2)初效过滤器主要用作对新风及大颗粒尘埃的控制，主要过滤对象是＞10μm的尘粒；中效及高中效过滤器主要用作对末级过滤器的预过滤和防护，主要处理对象是1～10μm尘粒；亚***过滤器用作终端过滤器或作为***过滤器的预过滤，主要处理对象＜5μm的尘粒；***过滤器作为送风及排风处理的终端过滤，主要过滤＜1μm的尘粒。电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。

(1) 空气过滤器的性能

空气过滤器的性能有风量、过滤效率、空气阻力和容尘量等指标，它们是评价空气过滤器的四项主要指标。总的来说希望过滤器的***、阻力小而容尘量大。

(2) 过滤器在空气净化系统中的应用

1.在空气净化系统中从吸入新风开始，一般分为三级过滤：一级使用初效过滤器，第二级使用中效或亚***过滤器，第三级使用***过滤器。