{***空气过滤器检漏}方法

   ——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

   气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。     微粒计数器测试法

   半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。检测项目：风量（换气次数）、新风量、风速、压差（静压差）、温度、相对湿度、噪声、照度、***空气过滤器检漏、悬浮粒子（空气洁净度等级）、浮游菌、沉降菌、自净时间、表面染菌密度等。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

{洁净室检测}

气中负离子对人体的作用

负离子是空气中带有负电荷的分子，负氧离子是带负电荷的氧分子。是空气电离产生的。实践证明空气中的负离子对人体有一定的生理作用，其表现在：、使人精神爽，工作***。

在洁净室中的空气是经过粗、中、***过滤器过滤的空气，所以洁净室空气中的负离子含量几乎为零。也是在洁净室内人们感觉不舒服的一个原因

洁净室检测

三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的***净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

四，无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。