洁净室检测{电子厂房检测}

——电子厂房检测——

    随着科学技术的发展，电子产品生产日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作，其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格。发生下列各项后需进行重复检测:1、洁净室达不到给定参数的原因已消除。

     电子产品的种类繁多，随着微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠的电子产品品种的增加，需要在空气悬浮粒子受控环境中进行全过程生产或部分生产的电子产品主要有:半导体材料及其器件生产、集成电路生产、化合物半导体生产、光电子生产、薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD生产，微硬盘驱动器HDD生产、等离子显示器PDP生产、磁头和磁带生产、光导纤维生产、印刷电路板、芯片制造、封装等。——生物安全实验室——生物安全实验室（biosafetylaboratory），简称“BSL实验室”，是通过防护屏障和管理措施，能够避免或控制被操作的有害生物因子危害，达到生物安全要求的生物实验室和动物实验室。

      电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。

{***空气过滤器检漏}方法

   ——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

   气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度(必要时)。     微粒计数器测试法

   半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***为使用的标准微粒。静态洁净室的检测(OQ)本阶段的检测至少应完成下列各项工作:1、确认洁净区划分原则是否符合要求。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

洁净室检测

一、目的:在生产过程中做好卫生监测与管理，防止交叉污染，对产品质量起到重要的作用，因此特质定无尘洁净室洁净区工艺卫生管理制度。

二、范围:适用于洁净车间的人，物流及车间的环境，设施洁净有关的其它元素的管理

三、工作程序:

1、进入洁净区工作的人员须经过体检，取得健康证后才能上岗，每年复查一次，如果不合格者，必须调出，患有感冒的工作人员不得进入洁净区工作。

2、洁净区每个人所占面积不得少于4平方米

3、洁净区内工作服管理见《洁净区工作服管理制度》

4、每天下班后洁净车间要用紫外灯消毒60分钟，并填好"紫外灯消毒记录"每月用甲醛熏蒸一次，时间半个小时，并填写"熏蒸消毒记录"

5、人出入洁净区必须按以下程序和要求进行。

人进-------换鞋-----脱外衣------洗手------穿洁净服-------手消毒-------风林

洁净区------出门口------脱洁净服-------穿外衣-----换鞋-------人出