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由于氮气与氧气的沸点相差不大，液态空气与气态空气需经过反复多次的蒸发、冷凝、再蒸发过程（该过程称为低温精馏过程），终在精留塔顶部气相馏分中就可以过得较高高纯度的氮气，氮气的纯度取决于精馏塔的塔板级数和精馏效率。

深冷分离法工艺已经历了 100 多年的发展，先后经历了高压、高低压、中压和全低压流程等多种不同的工艺流程。

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目前， 常用变压吸附制氮装置是以压缩空气为原料，碳分子筛为吸附剂，利用氧和氮在碳分子筛上的吸附容量、吸附速率、吸附力等方面的差异及分子筛对氧和氮随压力不同具有不同的吸附容量的特性来实现氧、氮分离。首先，空气中的氧被碳分子筛优先吸附，从而在气相中富集氮气。为连续获得氮气，需两个吸附塔交替工作。

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高纯液氮纯化方法：

氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放氮气。

高纯液氮的用途：

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。

液态的氮温度一定很低吗？

涉及到“临界温度”概念：能使气态物质液化的高温度就是临界温度。换句话说，就是当外界温度在临界温度以上时，无论怎样加压都不可能使气体液化。比如氮气，它的临界温度为-147度，常温下单靠加压不可能使其变成液态！须要先将温度降低到-147度以下，再通过加压的方式使其液化！