电动平移台系统基本由三部分组成：位移台；驱动电机；控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩，分辨率，加速度，信号处理，使用功能（如扫描，圆弧插补）等性能参数。电动平移台则是系统的心脏，主要技术指标如位移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，外形长度大小均由其决定。电动平移台根据外形长度大小，行程，旋转角度，导轨形式，驱动方式等又分为多种系列，并且可以任意组合，可满足空间长度大小，承载大小，可调整的自由度数量，手动自动等需求。

振动恢复时间（Damping Settling Time）:

也叫衰减周期，是指：某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的Z短时间。若把光学平台简化为弹簧振子，由弹簧振子的回复力表达式：计算可知

● 增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台，可以换用材质较硬的阻尼材料；对于充气平台，可以适度增加空气压力

● 控制光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下，台面质量越轻，振动恢复时间越短，使用效果就越好。卓立的光学平台，采用精良铁磁不锈钢，上台面钢板厚度为4～6mm，在确保系统刚性的前提下，整体重量适中，可充分发挥出平台良好的隔振性能

光学平台的平面度在使用时，实际意义不大。我们以非常平整的台面（实际上是不可能的）来看，若长×宽×厚为：2000×1000×200mm，通常调整水平时，水平仪的Z小刻度为±30′，若假设实际过程中，水平方向调整精度若为5′，长度方向取2000mm，那么，台面长度方向两端的高度差=2000×tan（5′）2.9mm，也就是说，就算非常平整的台面，调整水平后，台面长度方向两端的高度差很有可能达到3mm，所以实际使用情况中，平面度的指标意义不大