臭氧杀菌的过程属于生物化学氧化反应，其原理有三点，、氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活；1ppm的浓度），这使臭氧成为潜在的呼吸道危害物和接近地面的污染物。第二、直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌；第三、透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解。 　　臭氧杀菌快速，但凡事有利有弊，如果单位空间里的臭氧浓度过高，个人健康会受到影响

臭氧尾气破坏器的使用具有体积小、功耗低、寿命长、效果好等特点。主要用途是消除臭氧尾气。在实际使用时，经该产品处理过的臭氧尾气，完全符合国家规定的空气污染指标。纵观无菌技术对微生物的左右原理分为抑菌、杀菌和溶菌三种，臭氧灭菌消毒属于溶菌剂，即可达到“***、地消灭物体内部所有微生物”。同时，该产品处理臭氧尾气的效果不受潮湿气体和水分的影响，需要“再生”处理，这是使用催化剂、分子筛、活性碳等填料的臭氧毁灭器无法做到的。　　臭氧尾气破坏器的诸多应用

臭氧可以从不同的部位注入冷却水系统。简单的冷却水系统中，只需在一处加入臭氧就足够了；对于复杂的、有多个支路的体系，则建议在几个不同的部位加入臭氧，使臭氧在水中的分布较为均匀。　　2)臭氧尾气破坏器可以化工氧化：臭氧有很强的氧化能力，其氧化还原电位仅次于氟。臭氧的强氧化能力很容易打断烯烃类有机物的碳链结合键，使其部份氧化后组合新的氧化物。臭氧是一种强大的氧化剂（远远超过氧气），并具有许多与氧化有关的工业和消费应用。臭氧作为氧化剂和催化剂和精制剂而广泛用于化工、石油、造纸、纺织、制药、香料工业等。