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通常扩散泵的性能是以极限真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.极限真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。

2.大反压强

大反压强是指扩散泵所允许的前置压强大值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强，则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因

扩散泵系统的压强不稳定的原因，有内部和外部之分。泵外的原因有：①来自橡胶垫圈的气泡；②从障板上滴落下的泵油；③高的前级耐压；④阱除霜；⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有：①泵油爆沸或沸腾不稳定；②在导流管外部油的沸腾；③轻气体的低压缩比；④喷咀内的液滴；⑤顶喷咀变冷（蒸汽冷凝）；⑥锅炉附近泄漏，泵体要检漏。

锅炉内泵油的不稳定沸腾，会使喷出的蒸汽射流的密度波动，从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热，使之有一段爆沸的时间，其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉，增加内表面积，降低热流密度，增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中，强力的爆沸，会引起自爆升腾，对喷咀，引起瞬间堵塞，造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响，因对轻气体压缩比低，可引起压力的不稳定，增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器，可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续，导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降，不使其过冷。来自橡胶密封的气泡，有时油捕集气体，通过密封胶圈渗透放出，因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出，可使不稳定减少，若用金属垫圈就更好了。设计良好的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时，操作不当，扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范，定期检查泵油的质和量。