高纯气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。

高纯气体系统及输送流程：

高纯气体输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。

其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点

气体储运要求

保证气体在存储、运输、使用过程中不会被二次污染，对气瓶内部、内壁表面的处理涉及多项工艺，均依赖于长期的行业探索和研发;此外，对于某些具有高毒性或危险性的气体，需要使用负压气瓶储运，以减少危险气体泄露风险。

高纯气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

1.施工管理和现场施工的几个注意点

项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解高纯气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。