真空泵的特点:
1.在较宽的压力范围内有较大的抽速;
2.转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
3.泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
4.泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
5.压缩比较低,对氢气抽气效果差;
6.转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
真空泵机械选择:
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵),两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵工作原理是什么?
2、罗茨真空泵工作原理
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。因为转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,进而经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体沒有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,因为排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然升高。当转子继续运转时,气体排出泵外。
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