真空泵机械选择：

       真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

       正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵），两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

       真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

       真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

       真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

       旋片式真空泵结构：

       旋片式真空泵是一种容积泵，它借助于旋片在泵腔中连续运转将气体吸入并压缩，较为后由排气口排出。泵主要由定子、转子、旋片等组成，转子被偏心地装入定子腔内。转子槽中有两块旋片，旋片弹簧置于两旋片之间。定子上的进、排气口被转子和旋片分离为两部分。

       当转子在定子腔内旋转时，旋片在弹簧张力与本身离心力的共同作用下其端部紧贴于泵腔内壁滑动，周期性地将进气口侧的腔内容积扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口的容积，将已吸入的气体压缩，然后从排气口排出从而达到抽气的目的。

       无油隔膜真空泵是提高过滤效率、加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染，一般均使用无油隔膜式真空泵。此类泵型的真空压力一般在0.08Mpa左右（单级）。提高过滤速度关键是单位时间内的排气量，即真空泵的流量指标，在过滤量大、介质粘度高时颗粒堵塞滤膜情况下尤显突出。无油隔膜真空泵为蒸发、蒸馏、结晶、干燥、升华、过滤减压、脱气提供真空条件，以及溶媒回收、各种强酸、强碱抽取。