涡旋真空泵由涡旋式压缩机演变而来，机构原理早由法国人Cruex于1905年发明，但受限于当时的工艺技术并未应用于实际，直到上世纪80年代前后才应用于真空技术领域。其结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；并且其压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，无需冷却水与润滑油，维护简单，可靠性高。

       由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵泵的抽速不超过1000L/min；抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构，极限真空在1Pa左右。

隔膜真空泵的特点：

1.无需任何工作介质(无油),不产生污染,同时本机气体交换仓内置有过滤材料,从而保证了空气的纯净。

2. 生产过程中采用新技术和新材料.它移动方便,工作流畅,从而保证了理想的真空度和较高的空气流速。

3. 采用无摩擦的膜体运动,不产生热量,无摩擦损耗.膜片采用进口橡胶,耐腐蚀,使用寿命长。

4. 机体内设计有自冷却排风系统,可保证24小时连续运转。

5. 采用压力可调式设计,可满足一定范围内的真空度和气体流速。

6. 轴承采用进口经典轴承,运转平稳,噪音低,工作效率较高。

无油真空泵又称干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。

无油真空泵在日常使用和维护时，需要注意以下事项：

1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。

2、无灰尘及脏物的清洁场所。

3、无水、油等液体会降落到泵上。

4、不直接暴露在阳光里。

5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。

6、泵必须安装在平坦的平面上。

7、可以将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。

8、必须确保泵不因基础不牢固而引起震动。

9、与泵连接管道不宜过长和小于泵进口径，影响抽速，同是注意检查真空连接管道有否漏气。

10、接电线时，应注意电机铭牌上的规定接线要求。三相电泵要注意电机旋转方向应与泵上的标示箭头方向一致。

水环真空泵的常见故障：

3、不能正常启动或启动时噪音过大      

水环真空泵的运行，会介入大量的水蒸气，这些水蒸气年久之后，就会对各个零件造成一定的腐蚀，进而引起水环真空泵不能正常的启动，或是在启动时发出较大的噪音。当然，供电不足、管道内误吸了杂物等情况，也会导致这样的故障出现。

4流量不足      

与其他一些结构更为复杂的真空泵相比，水环真空泵的循环系统相对单一，如果其进气通道和出气通道被堵塞了的话，其运行流量就会大大的降低。另外，管路漏气、漏液以及阻力损失增加等原因，也会导致流量不足的故障出现。