净化车间工程传统技术与无尘室新技术的对比无尘空气净化车间的结构组成说明:按照无尘净化车间管理规定,无尘净化级别主要就是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子的数量来规定。但是对于光学构造来讲,一点点的灰尘都可能会产生非常大的不好的影响。因此在无尘净化车间管理规定中说明在光学构造产品的生产上,要求无尘净化车间无尘是必然的。
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无尘净化车间工程,由中央空调和空气净化系统组成,它们就是净化系统的心脏。主要控制无尘净化车间空气灰尘微粒数,调节车间温度和温度。) 风淋室、更衣室、净化间是车间净化系统的三个基本组成部分。风淋室是进出洁净区的通道,利用喷出的高速洁净气流,可以有效并且迅速地清除人体所带的尘埃及细菌。净化间采用夹层彩钢板隔离空间以及墙壁,上部彩钢天花吊顶,地板用环氧树脂铺成。
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。
对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:
1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0。25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0。35m/s
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