无尘洁净车间工程主要的作用是控制产品所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘净化车间。
传统的无尘车间设计主要已清洁规则、墙壁、天花板、地面表面、空气流量、温度、湿度、压力控制、照明、风机过滤机组等构成。归纳后只有建筑安装和净化主机两大块,前者是属于劳务型,后者是技术型,是我国无尘车间技术持续发展的“瓶颈”。净化主机技术的创新关系到空气流量、压力控制、过滤系统、温度、湿度等一些列问题,因此没有一家企业或研究机构愿意去触及,至此形成以初中过滤器循环过滤净化的传统模式。
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。
对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:
1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0。25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0。35m/s
无尘车间风量该如何计算?
根据工艺要求确定无尘车间的洁净度等级,并决定利用全室空气净化还是局部空气净化,根据表选型表确定空气气流型式,无尘车间净化空调的计算方法如下:
1.计算新风量,取下列两项中的大者,计算方法略;
(1)补偿室内排风量和保持正压值所需新鲜空气量之和。
(2)保证洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3/小时。
2.计算洁净室的冷热负荷;
3.计算送风量,取下列三项中的很大值,计算方法略;
(1)为保证空气洁净度等级的送风量。
(2)根据热.湿负荷计算确定的送风量。
(3)向洁净室内的供给的新鲜空气量(新风量)。
4.根据送风量,冷热负荷和选择的气流组织形式,计算气流组织各参数;
5.确定空气加热冷却的处理方案,用一次回风还是二次回风;
6.根据工业要求或气流组织计算时确定的送风温差及室内外计算参数,在i-d图上确定各状态点,计算空调器处理风量,洁净室循环风量;
7.计算总冷热负荷,选择空气处理设备;
8.校核洁净室内的微粒浓度和细菌浓度。
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