机组与风道连接处应设柔性接管,风管的重量不应由机组承受,连接处应进行密封及保温处理,避免漏风和凝露,机组出风口必须保证至少2倍出风口长边尺寸的直风管,弯管和变径会增大额外压损,造成风量不足。第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。机组所有进出管路全部保温,阀门、接头保温要留出维护操作部位,如采用蒸汽盘管,在蒸汽管口处须安装疏水器,排水通畅。中净环球净化可提供净化车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。
洁净工作台可以在操作台上形成无菌、无尘的局部净化空间,其主要部件有预过滤器、过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件等。减少系统送风量:洁净室内的送风量较之一般恒温恒湿空调房间内的送风量大很多,设法减少系统的送风速度,可有效地节省处理空气所耗用的能量,达到节能运行的目的。洁净工作台有足够的送风量,选择合适的气流流形和可靠的过滤装置,确保所需的空气洁净度等级;有排风装置时,应选用必要的排风处理装置或技术措施,达到不污染室内外环境的排放要求;噪声低、振动小、满足相关标准、规范的要求;操作面光滑、平整、无凹凸、防止积尘;工作台内操作面上的气流分布应均匀、可调;工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制,至少应装设必要的显示仪表显示工作台的工作状态;工作台内的过滤器应拆装方便。
改变安徽车间净化要求的温湿度基数:维持安徽车间净化达到一定的温、湿度需耗用相应的能量,提高要求的温、湿度基础可以节能能量,若空气参数要求为22℃±2℃和35%-50%相对湿度,在夏季运行中,如果安徽车间净化内空气温度控制在23℃,相对湿度控制在60%,此时净化空调系统机器露出点即可由12.2℃提高到16.5℃,如果系统处理风量按10000m3/H计,则运行中可节省处理空气的冷量消耗为36.27kWH,全天按16H计,则可节省冷量580.3kw/d。净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。
洁净区应采用吸顶式净化灯具,非洁净区采用普通荧光灯。设计各房间内照明,紫外灯独立控制,并均由电气控制箱控制,再由总配电柜集中控制。室内照明均采用密闭照明灯组。插座盘均采用嵌入式。室内无明线敷设。
1、食品工业对人员、物料的动线有明确的规定,不可交叉流动,物料流动需设置的物料传递口或传递门。人员流动需走的人员通道。
2、按照生产工艺和卫生、质量要求,划分洁净级别,具体级别及要求。
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