管路惰性气体保护因管路内粗糙度要求较高

管路惰性气体保护因管路内粗糙度要求较高，在抛光管路焊接时，惰性气体保护更严格。为了节省气，并且使每个焊口内部充气良好，一般在整个管道组对焊后，将整个管道内的气充入到整个管内，再由一端焊到整个管内，再由管内充气，再由管内充气。全自动焊机焊接完毕，焊完后立即用封头封口，使惰性气体留在管内。

管道卡套式连接直径小于18mm的管路在三通和急转弯处多采用卡套式连接。管子插入底座后，用手拧紧，然后用扳手顺时针旋转450°完成安装。但是需要注意的是，用于夹套连接的管端必须无纵向划痕，切割后的管端不得有椭圆形的管口。

集成电路生产洁净室通常有高纯度气体管道

在食品厂的设计装修中，洁净室中的管道种类，除设有通常在一般厂房内设置的消防管道、冷却管道、生活管道、排水管道、一般压缩空气管外，通常还根据食品厂各类洁净室内产品品种、产品生产工艺的不同，要求供应各种类型、各种等级的气体、液体、化学品作为原料、防护介质或清洁剂或清洗置换介质等，经常与产品直接接触，因此要求供应无污染、杂质含量极微量的流体。集成电路生产洁净室通常有高纯度气体管道，包括高纯度普通气体(或大宗气体)，如H2、N2、O2、Ar、He等。

吹扫和检验

（1）系统投入使用前，用干燥净化的压缩空气吹扫，吹扫时间一般为 24 小时。

（2）吹扫后，用干燥净化的压缩空气进行和洁净度检查。

a.检查：用两台微量水份分析仪，分别设在管道系统始、末端，分析气体 中的水含量，管路末端的水含量不超过管路始端的水含量 10%为合格。

b.洁净度检查：用两台粒子计数器分别设在管路系统的始、末端，分析气体中 的粒子数，管道末端大于 3.5um 的粒子数比管道始端的粒子数增量每升不多于 3.5 粒为合格。