纯净水是指其水质清纯，不含任何有害物质和细菌，如有机污染物、无机盐、任何添加剂和各类杂质。从化学角度来说，是指含有一些对人体有利的一些离子如钠离子等的水。其优点是能有效安全地给人体补充水份，具有很强的溶解度，因此与人体细胞亲合力很强，有的作用。它是采用离子交换法、反渗透法、精微过滤及其他适当的物理加工方法进行深度处理后产生的水。

纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水从化学的角度来说，只有H2O,几乎不含任何其他物质其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。

高纯水的***为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。

超纯水是纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于 18M Ω *cm 或接近 18.25M Ω *cm 极限值。超纯水是一般工艺很难达到水平，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、 EDI 技术，离子交换技术中的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水，电阻率可达 18.20M Ω *cm 3.纯水和超纯水区别存在于很多方面