高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：

1.微电子工艺对水质的要求；

2.制水工艺的水平；

3.检测技术的现状。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。工作原理：简单地说，反渗透半透膜上有众多的孔，这些孔的大小与水分子的大小相当，由于细菌、病毒、大部分有机污染物和水合离子均比水分子大得多，因此不能透过反渗透半透膜而与透过反渗透膜的水相分离。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

目前制备电子工业超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。现将他们的优缺点分别列于下面：种：采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

    其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

纯水和超纯水的区别

纯水和超纯水区别存在于很多方面，具体归纳如下：

A 电导率不同，纯水电导率在2~10μs/cm之间，超纯水的电导率为0.056μs/cm;

B 制造的难易程度不同，目前市场上使用的纯水基本上都是经过反渗透、蒸馏等方法制得，而超纯水是纯水的基础上还要经过光氧化技术、精处置和

抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的;

C 重金属、细菌、微粒数等指标也大不相同，纯水杂质含量是ppm级，而超纯水为ppb级，简单地说超纯水中已经没有什么杂质，接近于理论上的水;

D 使用的领域也不相同;

水的硬度和软水器

　　水的硬度是指水中钙镁离子的含量。高纯水设备介绍采用两级反渗透方式，其流程如下：原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。硬水本身对人体没有坏处，因为钙和镁都是人体必需的营养元素。但是如果水的硬度过高，会容易形成水垢，锅碗瓢盆中的水垢很烦人，洗碗机、洗衣机、热水器和下水道中的水垢则可能影响设备正常工作，甚至堵塞。另外，硬水也会影响肥皂和清洁器的效果。所以很多家庭选择安装软水器。

　　软水器的工作原理

　　简单来说，软水器就是用钠离子替换水中的钙镁离子，从而降低水的硬度。

　　软水器通常由两个部分组成，一个是主体罐，用来软化，另一个是盐罐，用于储存盐。