高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：

1.微电子工艺对水质的要求；

2.制水工艺的水平；

3.检测技术的现状。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；反渗透技术初用于将太空人的生活用水回收处理，使之可再次饮用，可见其在水处理应用方面的安全性与可靠性都得到了较别的认同，并经过了较严苛的科学检验。水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

纯水设备应用范围

电子工业：集成电路、硅晶片、显示管等电子元器件清洗用水，配方用水。

制药行业：工艺用水、制剂用水、洗涤用水、水、无菌水制备。

化工行业：生产用水、工艺用水、化工循环水、化工产品制造净化与制备用水。

电力行业：锅炉补给水、厂矿中低压锅炉动力系统、企业高压锅炉补给水的预脱盐处理。

海水淡化：海岛地区、沿海缺水地区、船舶、海水油田等生产生活用水。

环保领域：电镀漂洗水中贵重金属、水的回收，实现零排放或微排放。

其它工艺：汽车用水、家电涂装、镀膜玻璃、化妆品、精细化学品行业。

目前制备电子工业超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。一般来讲，水处理行业中将单级反渗透的出水称为纯水，而双级反渗透的出水称为纯净水。现将他们的优缺点分别列于下面：种：采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

    其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。