高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：

1.微电子工艺对水质的要求；

2.制水工艺的水平；

3.检测技术的现状。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

纯水设备维护保养

RO反渗透系统的保养：

1：定时定期记录RO装置各种运行参数。建议：每两小时记录RO装置各运行参数一次。

2：随着运转时间增长，膜表面将附着沉淀物，影响透水量，就要定期清洗RO元件。若发现组件中每个膜元件的压力大于0.1Mpa要立即进行清洗（清洗由清洗系统完成）。按不同污染状况，有针对性的处理措施。

3：定时定期检查检验电导率仪及各压力表，使之正常准确地工作。

4：定时定期检查电器控制系统，确保设备运行正常。

5：定时定期检查高压泵及RO前置泵，按保养手册及时更换润滑油。

现在市场上纯水设备的厂家多种多样，如何选取质量过关的纯水设备也成了一门学问，我们需要了解哪些细节呢？

1、 了解纯水设备的运用水源，通常是自来水、井水和河水三种;了解水源的水质状况。

2、 因为要到现场进行调查纯水设备的性能，因而要优先选择实力强大的纯水设备厂家。

3、 选择纯水设备要看设备的外观、管路的联接以及高压泵、原水增压泵是不是规范厂家的产品。

4、 问询厂家一些设备的细节疑问，比如说：反渗透膜的厂家以及产地、电控有些的控制原理、纯水设备的计划理念等。

5、 售后服务很主要，关于是不是上门设备调试以及是不是***的操作人员，这些都是售后***与坏的体现。