设备概述：

随着光通信滤光片的应用越来越广，质量要求也越来越高，因此对光通信滤光片的镀膜技术也同时提出了更高的要求。滤光片表面污染物的不同，材料品质不一，清洗后镀膜的种类、精度不同，清洗工艺也有着较大区别，清洗设备的结构也相应存在差异。

VGT-1403FP光通信滤光片光学超声波清洗机是***于光通信滤光片镀膜前进行清除滤光片表面尘埃、指印等污垢的高精度清洗系统。整个清洗工艺共有14个工位，经过有效清洗、漂洗、IPA脱水及干燥使之达到高洁净度的要求。

工艺流程：

1洗剂超声清洗(除油)→2超声水剂洗(兼容漂洗)→3洗剂超声除腊→4超声水剂洗(兼容漂洗,与第二槽共用一个预热箱槽)→5洗剂超声清洗→6洗剂超声清洗→7洗剂超声清洗→8纯水超声漂洗→9纯水超声漂洗→10纯水超声漂洗→11IPA超声脱水→12IPA超声脱水→13IPA超声脱水→14IPA蒸汽干燥。

清洗原理：

高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工艺和配置外，更需要良好的脱水效果。工件表面如果有任何垢点或积水点，***都将影响清洗效果。IPA有较高的沸点，又能较好的溶于水，经过前面IPA的有效脱水和该槽的蒸汽浴洗，工件表面已仅存IPA，经过高温后有效地散失，可以实现表面高清洁度和干燥之目的；电机采用“东力”电机，工作稳定性、可靠性实践证明良好。

使用清洗剂及达到效果：

光通信滤光片与加工后的镀膜材料,经清洗后满足以下洁净度要求:

1、不应残留干燥斑点和污痕（如脏污、白点、水印等）；

2、表面不应有泛白、泛蓝等的化学变质；

3、表面不应有***等的物理变质；

4、清洗过的光学材料，可达到光学行业要求的外观标准；

5、验收标准:清洗后≤1um颗粒残留。

注意事项：

将机器放置于干燥通风处，机器后部距离遮挡物大于30mm，以便散热。出现工作异常时请与维护工作人员联系，切勿随便开盖，以免造成危险；机箱的电源保护地线必须保证良好接地，以免发生意外触电危险。