光学微电子净化工程净化参数换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s；温度冬季>16℃；夏季<26℃；波动±2℃。温度45-65%；GMP剂车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A)；新风补充量是总送风量的10%-30%；照度300LX。

同理车间温湿度的制定，不仅也有上述成本问题，还有控制准确度的因素，准确度越高，所需的配套设备要越齐全。如相对湿度范围准确到±3%、±5%的时候，所需设计的加湿设备及除湿设备都要完备。车间温湿度和洁净度的制定，不单只影响前期投资，对于一个基业长青的厂房来讲后期的运行成本也是极为重要，所以根据自身生产产品的特性，结合、行标以及企业内部标准，合理制定出符合自身需求的环境数据标准是筹建净化厂房基础、根本的一步。

定义净化车间的环境数据标准，是影响项目投资至关重要的中心点。洁净度等级的制定影响装修成本：定在十万级及以级，要求有必要的洁净板材围护，净化门窗、人员和货物风淋传递设施，甚至价格昂贵的地板；同时也影响空调成本：洁净度越高，满足净化必要的空调换气次数就越大，所需净化风柜的风量就越大，风水管及末端风口量也随之增加。