空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出，近年来，世界Ic卡技术展开疾速，IC芯片日益微型化，目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。在洁净厂房的设计方案中，全是选用大容量加装修隔断的方式来将大跨距的工业厂房区划成多个作用间，另外以便避免户外的环境污染房间内的自然环境，较多的选用了相对性密闭式的屋子设定，那样针对设定排风系统软件便是非常必需的。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染控制只需求肯定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的减少而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。

由于手术室要严格控制低细菌数及低麻酔气体浓度，所以层流超净装置的稳定性是层流净化手术室的重要验收指标。净化空调系统在风机停转无风或超温时，电加热器会继续送电加热，造成设备损坏甚至发生火灾，为避免这种情况的出现，应设置无风以及超温断电的保护。根据规定，室内净化空调系统中的空气不得循环使用。因此，在传统的工程设计中，如粉碎、筛选、称重、压片、混合、制粒等固体制剂车间，必须对室内空气进行过滤和排至室外，这必然导致新风量的增加，新风量的增加。E的新风比，甚至需要采用完全新风的系统。

①　场地环境的振动测试。在设计和选择治理设备时既要考虑到技术的可行性，也要考虑到经济的可行性，做到优化组合，形成效率很高、费用省。主要调查拟建场地的环境振动参数(parameter)，厂区周围公路、铁路等交通运输所产生的振动影响，评估拟建场地是否可行，并根据实测参数选择结构形式，以抵御环境振动对结构的影响，保证所采用的结构形式使场地的环境振动在结构上不至于增大。②　主体建筑竣工后，在洁净车间内各种设备未安装前进行环境振动对主体结构影响的测试。目的是了解建筑物(building)自身的振动特性，验证(Experimental)结构方案，为洁净车间内各种振动设备的隔振提供技术资料。

　车间内除精密(precise)设备外，其他空调系统、动力系统等设备和工艺附属设备都已联机调试或进行试运转时，对精密设备安装位置的环境振动测试。分析净化工程系统设计程序设计和设备选择，一般根据气态污染物的性质、处理量及处理要求来确定。调查了解该位置的环境振动是否满足精密设备的振动安装条件要求，为精密设备是否进一步采取隔振措施（指针对问题的解决办法)提供依据。精密设备安装完毕，进行试生产时，终对整个生产线验证。用以保证产品的可靠性。环境振动的物理量，应根据精密设备对物理量的要求相应确定，不外乎是振动加速度、振动速度及振动位移，一般情况下，对采集得到的数据（data)需进行时域及频域分析。