无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

无尘车间的发展与现代工业、尖1端技术紧密的联系在一起。目前在生物制药、医1疗卫生、食品日化、电子光学、能源、精密器械等行业运用已经相当的普遍且成熟。无尘车间分为几个等级，分别为1级≥百级≥千级≥万级≥十万级≥百1万级，越排在前面，级别越高，1级是级别1高的。常见的是百级到十万级，不同等级还有着不同的等级标准。

无尘车间厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1、应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域2、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、仓储、堆场等有严重空气污染，振动或噪声干扰的区域，当不能远离严重空气污染源时，应位于1大频率风向上风侧，或全年小频率风向下风侧3、应布置在厂区内环境清洁，人1流、物流不穿越或少穿越的地段4、对于兼有微振控制要求的无尘车间厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备，精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定5、无尘车间厂房新风口与交通干道边沿的近距离宜大于50M6、无尘车间厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道7、无尘车间厂房周围的道路面层应选用整体性能好，发尘少的材料8、无尘车间厂房应进行绿化，可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物。

    无尘车间的温湿度操纵由其生产工艺流程决策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如计量检定室、光纤传感器刻线室、仪器仪表生产制造和装配线车间等。前两者都为小屋子，中央空调精度(这儿关键指温湿度)规定高；后二者为很大的生产制造车间，温湿度精度规定较低。因此其屋子尺寸也会决策恒温恒湿设备车间的精度。无尘车间对温湿度的操纵决取于其生产工艺流程。在考虑制作工艺的标准下，还应当充分考虑人的舒适度。由于流汗之后，对商品将有环境污染，非常是怕钠的半导体材料车间，这类车间不适合超出25度。环境湿度过高造成的难题大量。相对湿度超出55%时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，假如产生在高精密设备或电源电路中，就会造成各种各样安全事故。相对湿度在50%易锈蚀。