光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
无尘车间在设计时一定要符合生产工艺过程的要求。不管是上工序还是下工序,两者间的运输距离要短,尽量避免迂回和往返运输。车间的地面要用坚固、防滑、易清洁、不渗水、耐腐蚀的材料铺制;墙面则要铺有2米以上的墙裙,墙面用耐腐蚀、易清洗消毒、坚固、不渗水的材料铺制及用浅色,防水、无毒、不易脱落、防霉、可清洗的材料覆涂。
无尘车间的排架结构和房屋装修原材料宜采用密封性优良,另外在溫度、环境湿度等转变时,自身形变小的原材料;墙面和顶棚表面应光滑整平、不了灰、不尘埃、耐腐蚀、抗冲击、容易清洗。以便使无尘车间的工程建筑表面尽量避免积尘、易清理,应在建筑结构上防止或降低凸凹面,墙面与路面、墙面与顶棚、墙面与墙面的结合处也不适合制成一般的斜角,宜制成半经大于或等于50毫米的圆弧。壁面镀层的颜色要和睦、清雅、素净,便于于呈现壁面上的空气污染物。一样,路面也应保证整平、无间隙、耐磨损、耐腐蚀、抗冲击、不堆积静电感应、易除灰清理。
无尘车间能够分成下列好多个级別:1级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百1万级。 每立方将低于0.5微米粒度的微尘总数操纵在3500个下列,就做到了国际性无尘规范的A1级。现阶段运用在射频收发器生产制造的无尘规范针对尘土的规定高过A1级,那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严控在每立方1000个之内,这也就是业界别名级別中的万级。 无尘车间详细地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷生活、节约项目投资和经营费用的标准。无尘车间与交通出行主干路间隔宜50米之上。
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