无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

    根据美国施行的规范，可将无尘车间分成六级。各自是一级、十级、百级、千级、万级、十万级：一级≥百级≥万级≥千级≥十万级≥上百1万级。越排前，级别越高，一级是级别1大的。普遍的是百级到十万级。一级的无尘车间主要用于制造集成电路芯片的电子光学工业，对集成电路芯片的***规定为亚μm。十级的无尘车间主要用于网络带宽低于2μm的半导体材料工业。百级是常见的。因而是关键的无尘车间，大家经常不正确地将百级净化室称之为无菌车间，以表明“无菌检测”的或“洁净”的自然环境规定，百级洁净室可用于药业工业的无菌检测制造加工工艺等，这一净化室很多应用于，植如身体物件的制造，手术，包含移植术，集成器的制造，这些对细菌1性1感1染比较敏感的患者的防护医1治，例如像骨1髓移植患者手术后的防护医1治。千级的无尘车间主要用于电子光学商品的生产制造，还用于检测，装配线飞机场蛇螺仪，装配线微型轴承等。千级无尘车间用于液压机械或标准气压机器设备的装配线，一些状况下也用于食品工业工业，除此之外，千级无尘车间在医工业中也很常见。十万级无尘车间用于许多的工业单位，例如电子光学商品的制造，用于较小的电子器件制造大中型的电子技术，液压机或标准气压系统软件的制造，食品工业的生产制造，医1药工业也经常应用这一级无尘车间。

无尘车间的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

    有效的空间与总面积，有利于有效的系统分区，也有利于实际操作与有利于检修。洁净室并不是越大越好，总面积和空间的尺寸关联中央空调耗能的尺寸和工程项目的项目投资。有效的生产制造空间有利于管理方法、降低自然环境清理及消毒1杀菌工作中，也有利于节约资源。另外，车间內部应设立原材料的正中间站有利于确立系统分区，以大限度地降低错漏和交叉式环境污染。各种各样管路、出风口、照明灯具设备等公用设施应防止出现不容易清理部位。应依据商品特性、屋子压力差、机器设备状况等有效开展平面布置图。洁净室应设型的人1流、货运物流安全通道。工作人员应按照规定的清洁程序流程进入，并应严控总数。除开工作人员进出洁净室 的规范管理外，原料及机器设备进出也务必历经清洁程序流程，方不会危害洁净室洁净度等级。