光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。

无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

    GMP洁净车间工厂装修原则 1、统一原则。在布局设计与改进时，务必将各工序的人、机、料、法、环5因素有机化学融合并维持充足均衡，一旦沒有统一融洽好，作业非常容易扭曲，会增加停滞不前時间，提升原材料运送的频次。 2、zui短路线原则。在布局设计与改进时，务必要遵照挪动间距、挪动時间降到zui低。由于挪动间距越少，原材料运送所花销的花费和時间就会越小。 3、人1流、货运物流通畅原则。使工序沒有阻塞，货运物流畅行无阻。在工厂布局设计时要留意：尽量减少逆流和交叉式状况，不然会造成一系列出乎意料的不良影响，如质量难题、管理方法难度系数难题、生产率难题、安全隐患等。 4、安全性令人满意原则。在开展工厂布局设计与改进时，务必保证作业工作人员的作业既安全性又轻轻松松，由于只能那样才可以缓解作业疲劳值。请谨记：原材料的挪动、转动姿势等将会会造成安全生产事故，上升、卸掉货品姿势等也将会会造成安全生产事故。 5、机动灵活原则。在布局设计时，应尽量保证融入转变、灵活应变，如应对工序的调整、生产能力的调整能灵便相匹配。