送风量大

洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。适用范围：要求加强抗拉力的水泥地面或防强酸、强碱、化学溶剂、防腐蚀的一楼地面及排水沟等。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。

　(1)更衣室净化车间要设有与加工人员数量相适宜的更衣室，更衣室要与车间相连，必要时，要为在清洁区和非清洁区作业的加工人员分别设置更衣间，并将其出入各自工作区的通道分开。2)在净化工程安装施工过程中对净化工程安装施工进度目标进行动态跟踪和控制①按照进度控制的要求，收集净化工程安装施工进度实际值。个人衣物，鞋要与工作服，靴分开放置。挂衣架应使挂上去的工 作服与墙壁保持一定的距离，不与墙壁贴碰。更衣室要保持良好的通风和采光，室内可以通过安装紫外灯或臭氧发生器对室内的空气进行灭菌消毒。

　　(2)淋浴间 肉类食品(包括肉类罐头)的加工净化车间要设有与净化车间相连的淋浴间，淋浴间的大小要与净化车间内的加工人员数量相适应，淋浴喷头可以 按照每10 人1 个的比例进行配置。据了解，目前净化级别高的当属航天航空的航空仓，级别都在1级，航天航空因属于特殊领域，需要的净化空间相对较小，作为对级别要求也非常严肃的生化实验室则需要面积较大的空间。淋浴间内要通风良好，地面和墙裙应采用浅色，易清洁，耐腐蚀，不渗水的材料建造，地板要防滑，墙裙以上部分和顶面要涂刷防霉涂料，地面要排水通畅，通风良好，有冷热水供应。

在平时，工作人员除了需要定期进行盆浴或淋浴外，还应当定期洗头。加之洁净技术跨行业、跨***、跨学科的特点：使之无尘车间工程的难度和复杂性增加。保持身体的清洁，尽量减少死皮数量。同时，在每次进入无尘车间之前，都应该对手进行***的清洁。平时看起来挺干净的手，其实也是一大污染源，能够将污染物从一处传到另一处。在清洗的时候，尤其应该注意指甲、指甲根部和手上的伤处。

在高度洁净区域工作的人员，应该保证健康状况良好。避免将病毒带入无尘车间内，对无尘车间的环境造成破坏。