无尘净化厂房是以具有洁净室和洁净区作为重要标志的生产厂房。根据《洁净厂房没计规范》GB50073中定义：洁净室是指空气悬浮粒子浓度受控的房间；洁净区是指空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。洁净室和洁净区的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。(1)净化工程安装施工成本目标的逐层分解，通过编制净化工程安装施工成本规划，分析和论证净化工程安装施工成本目标实现的可能性，并对净化工程安装施工成本目标进行分解。室内或区域空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

    洁净区可以是开放式也可以是封闭式。洁净室的分类方法很多，但的是按洁净室的气流流型和洁净室的使用性质来进行分类。

洁净室火灾危害预防及处理：

  警报设备：

 a. 装置位置：

 1、高度：洁净室内部高度通常较一般建筑为大，在选用探测器时应将天花板高度考虑在内。

 2、通风换气设备：装设侦烟式探测器时，应设于烟雾流动必经途径，装设感热式探测器时，应设于易蓄热处，因此通风换气设备之出风口或回风口，应注意与探测器保持一定距离，方能迅速感应及动作。

 3 、层流现象：洁净室内因换气频繁，平均约六秒钟席卷整个空间一次，同时间单位内的空气流动量高出一般建筑物甚多，因此空气流动的层流现象应考虑在内，以避免探测器无法有效测知火灾，形同虚设。

b.种类：火焰式探测器、侦烟式探测器、极早期探测装置，洁净室防灾时，重点在于早期发现，因此灵敏度越高越好，以期灾害发生初期便能反应，甚至在尚未发火前便能测知有发火的可能性，如极早期探测装置便是以此为理念的设计。

洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。(3)自净时间(恢复时间)的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

 同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。

人是净化间内主要尘源之一。尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。因此，要获得生产环境所需要的空气洁净度等级，对净化间的人员活动进行控制，是有效的途径和措施。实际上，不同***之间很难做到理想地配合，而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况，尤其后者。要把净化间各项规章制度真正落到实处，关键就是人员的日常管理，把人员净化管理作为首要控制要素，所以应该针对净化间进出人员进行各项培训。 （1）对新入职人员进行净化间洁净知识培训。

（2）对操作人员在净化间操作设备，搬运物料的专项培训。

（3）对所有进出净化间的人员进行衣着穿戴，进出制度的培训。

（4）对所有人员在净化间的日常行为规范的培训。