送风量大

洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。控制洁净室环境中的微生物含量仍然是靠良好的空气净化系统设施，其过滤效率可以达到99。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。

　温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力，温度测试应在净化车间进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。净化车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。(1)更衣室净化车间要设有与加工人员数量相适宜的更衣室，更衣室要与车间相连，必要时，要为在清洁区和非清洁区作业的加工人员分别设置更衣间，并将其出入各自工作区的通道分开。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。

　　洁净车间功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度，距的吊顶、墙面和地面不小于300MM，并应考虑热源等的影响，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。***漂洗干净后采用自然风干，干燥后经检查达到要求立即用洁净的塑料薄膜和胶带临时封好口，按系统编号堆放整齐。净化车间一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。

净化工程施工技术交底方案

一、  现场用水用电

施工用水用电由业主提供，线管布置服从业主的总体安排。

二、    现场管理

施工区域内设专门堆放垃圾区域，定期清理、清扫，保持现场整洁，卫生。现场临时的设置与管理严格按照有关规定执行。

净化工程施工

三、    设备安装施工

●  安装施工程序：

1基础验收

2设备验收

3设备安装找正

4设备找平找正

   5设备清洗检查

   6设备试车

●  设备安装要点

1设备的开箱检查：根据设备清单，说明书，合格证，检验记录和必要的装配图和有关型文件核对型号，规格以及全部零部件。表面检查无缺损和锈蚀情况

2设备的基础尺寸，位置等应符合图纸要求。

3平面位置安装基准线对基础实际轴线允许偏差不得超过图纸要求。

4安装时，设备的连接管口与其开口的地方的封闭不能拆掉，以免杂物进入到设备内部。

5检查设备不应有缺件，损坏和锈蚀现象。

6设备的单车试车

试车前，电的仪器及保护连锁应具备使用条件，水冷系统应符合要求。

试车中，关键的是按照设计要求检查温度，压力，震动三个的安装质量标准，单机试车中必须达到试车要求。

试车结束后应及时完成下列工作：断开动力电源，拆除试车的临时设备，整理试车运转记录。