空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA） 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

   优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

   缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

洗手消毒设施 车间入口处要设置有与净化车间内人员数量相适应的洗手消毒设施，洗手***所需配置的数量，配置比例应该为每 10 人1 个，200 人以上每增加20人增设1个。需要带入无菌室使用的仪器，器械，平皿等一切物品，均应包扎严密，并应经过适宜的方法灭菌。洗手***必须为非手动开关，洗手处须有皂液器，并有热水供应，出水为温水。 盛放手消毒液的容器，在数量上也要与使用人数相适应，并合理放置，以方便使用。干手用具必须是不会导致交叉污染的物品，如一次性纸巾，消毒毛巾等。 在净化车间内适当的位置，应安装足够数量的洗手，消毒设施和配备 相应的干手用品，以便工人在生产操作过程中定时洗手，消毒，或在弄脏手后能及时和方便地洗手。 从洗手处排出的水不能直接流淌在地面上，要经过水封导入排水管。

　　卫生间 为了便于生产卫生管理，与净化车间相连的卫生间，不应设在加工作业区内，可以设在更衣区内。(2)净化工程室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流。卫生间的门窗不能直接开向加工作业区，卫生间的墙面，地面和门窗应该用浅色，易清洗消毒，耐腐蚀，不渗水的材料建造，并配有冲水，洗手消毒设施，窗口有防虫蝇装置。

净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。净化工程地面解决方案薄涂型环氧树脂地板特性：整体平整、附着力强、耐磨、耐酸碱，防潮、防霉、色彩艳丽，且易于清洗、施工简易工期短、成本经济。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，净化车间无尘是必然的要求。

　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准级。（三）混合流（局部单向流）洁净室混合流(局部单向流)洁净室既有单向流又有非单向流。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

在平时，工作人员除了需要定期进行盆浴或淋浴外，还应当定期洗头。条密封胶嵌固时，应将基槽内的杂质、污油剔除干净，并保持表面干燥。保持身体的清洁，尽量减少死皮数量。同时，在每次进入无尘车间之前，都应该对手进行***的清洁。平时看起来挺干净的手，其实也是一大污染源，能够将污染物从一处传到另一处。在清洗的时候，尤其应该注意指甲、指甲根部和手上的伤处。

在高度洁净区域工作的人员，应该保证健康状况良好。避免将病毒带入无尘车间内，对无尘车间的环境造成破坏。