有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
本着十多年的真空泵维修经验,从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。其实到后修不好,反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
室内 真空
消毒
等离子体 清洗/灭菌
油/树脂 脱气
食品 加工
泄漏 检测
低温 空间
泄漏 检测
真空 绝缘面板
真空 绝缘玻璃
气瓶填充
主要特性和优势
适用于更广泛的工业应用,具有良好的 水蒸汽处理能力
用户可进行现场维修 - 更高的生产效率
更换油和过滤器十分方便 - 易于维护
比大多数类似的单级旋转式叶片泵更安静
的油排放并且十分环保
内置 ISO 和 BSP 连接 – 易于集成
EH 增压泵拥有全套组装包 – 适合多种 性能要求,简单方便
真空泵在工作1个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。