对于真空镀膜机设备而言，真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分，制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。

真空镀膜机在选择如何选择真空泵时，应注意以下事项：

1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的极限真空和工作压力要求。

2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围,

3.真空泵在工作压力下，应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4.真空泵的正确组合有选择性吸入，所以有时选择一种泵也不能满足进气要求，必须与几种泵结合，互相补充，才能满足进气要求。

真空镀膜是在原子水平上进行材料生成的技术，镀层的晶料度在10纳米左右，属于纳米材料的范畴。通过对壳内壁真空镀电磁防护膜层，可以极大地防止因电磁波辐射而对手机使用者造成的危害。真空镀膜技术的研究”，主要解决的是镀膜的工艺问题，包括电阻率、附着力、高温性、膜层表面光亮度以及复杂区域的膜层附着问题。根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。

真空镀膜设备在使用过程中，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能，应注意随时清除。