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一种多通道高精密LCR测试系统 [0011]在本发明中,进一步的,所述信号转换电路包括信号调制电路以及ADC电路,所述信号调制电路与所述ADC电路连接,所述信号调制电路用于对采集的正弦信号调节增益,所述ADC电路用于对信号进行转换。[0012]在本发明中,进一步的,所述信号测量单元包括四路结构相同的采集电路,所述采集电路包括运算放大器U601,所述运算放大器U601的正极输入引脚与所述差分电路连接。

探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关可搭配Probe card测试适用领域:晶圆厂、研究所、高校等半自动型chuck尺寸800mm/600mmX,Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm,微调升降16mm可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6~8颗显微镜X-Y-Z移动范围2'x2'x2'科迪仪器科技(苏州)有限公司科迪仪器科技(苏州)有限公司

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