河源ULVACNRL90A干式真空泵多少钱服务介绍「潽拓光电」
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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力,公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上,成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论,鉴定很终鉴定意见为:公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台(套),具有自主知识产权,主要性能指标达到水平,取得了显著的经济及社会效益,建议进一步推广应用。

作为中国真空技术者,公司始终以“创新科学仪器,发展企业”为使命,以电子光学和真空技术,打造科学仪器设备及装备制造国家队,在“十四五”规划的新征程,立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局,为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

操作注意事项不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

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分子泵油池安装注意事项①、拆油②、油量控制③、油池卫生,防颗粒④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏

3进出口法兰、冷却水安装①、泵入口:对正、对称拧紧②、泵出口:防止错位③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀注意:环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强:强制风冷

电缆安装注意事项①、对正槽口插入②、用螺母拧紧,边插边拧③、检查到位

5振动隔离、冲击防护

1分子泵振动,可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便很大可能的减少振动。2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)

气体振动(气量突变、压强突变)

意外振动(掉入异物、碰撞等)注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

6大气载、热气体、突变气载

a引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效b.措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间

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真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时,对外发布的各项参数和曲线,比如下图的抽速和压缩比曲线,都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的,在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。

在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远低于阈值。抗振动测试通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。

温度测试将泵置于–40°C至+70°C(处于非运行状态)以及0°C至40°C(处于运行状态)下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平:0.4m/s2。

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