配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。给水或其他液体管道在i高点设有排气装置，排除积存在管道内的空气或其他气体，以防止气阻造成运行失常。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。5米左右，气体管路就需要有支架，另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室供气系统设计要点

（1）通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器，在气瓶出口装有单向阀，可避免更换气瓶时有空气和水分混入，另外在一端安装泄压开关球阀，将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道，保证仪器用气的纯度。

（2）集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定，采用二级减压的方式，一是，经过第i一级减压后，干路压力比气瓶压力大大降低，起到了缓冲管道压力的作用，提高了用气的安全，降低了应用的风险，二是保证仪器供气入口压力的稳定，降低了因为气体压力波动而引起的测量误差，保证了仪器使用的稳定性。对日用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。

（3）由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体，如甲i烷，乙i炔，氢气，做这易i燃气体的管路时，应注意管路尽量短，减少中间接头的连接，同时，气瓶一定装入防爆气瓶柜内，气瓶输出端接回火器，可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸，防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口，且有泄漏报警装置，一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。联接时，一般在承插口的槽内先填入麻丝、棉线或石棉绳，然后再用石棉水泥或铅等材料填实，还可在承插口内填入橡胶密封环，使其具有较好的柔性，容许管子有少量的移动。

现在实验室常会用到各类分析仪器，这些仪器都需要使用载气和燃料气，这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器，如气相色谱仪，原子吸收，气—质联用仪，ICP等等，这些仪器需要用到高纯气体，传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式，这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶，分别满足每台仪器设备的使用，但随着近年来实验室投资的不断加大，仪器设备的迅速增加，用气量也逐年增加，传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求，同时分散供气模式带来的实验室布局混乱，钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。此外，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需气体压力控制指示装置。    

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。