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1.常见色谱故障——压力波动可能原因:溶剂进口过滤芯堵塞;溶剂未脱气;泵的密封垫老化;出口单向阀失效;主动阀失效。常见原因:泵内有气泡2.常见色谱故障——压力过低可能原因:溶剂进口过滤芯堵塞;连接管路泄漏或其它备件(泵头密封垫);溶剂或流速改变;主动阀失灵;四元比例阀失灵;单向出口阀失灵;色谱柱失效(固定相流失)。

低温硅液相外延:低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中,由于新的溶剂(主要是Ag,Au及其合金)不断发现,大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上,Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值,而当生长温度低于500℃时,Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。

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