真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。

真空镀膜设备在使用过程中，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能，应注意随时清除。

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

真空镀膜机对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来。真空镀膜机是由真空炉体，真空泵，控制柜，真空计，冷却系统等部件组成，真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支，在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。

在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，须先开水管，工作中应随时注意水压。

在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。

镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。

东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

真空镀膜设备能通过利用电阻加热，若电阻要加热，真空镀膜设备所使用的材料包括石墨、钨、钽、钼、镍铬等，真空镀膜设备加热后要进行保温，真空镀膜设备设置了保温层就可以提高加热的效率，以免真空镀膜设备的热量快速散失，一般有金属保温层和复合保温层两种形式。