气体质量流量控制器的密封材料如何选择？

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么？

(1) 注意选择正确的品牌

一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。

(2) 注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。质量流量控制器（MFC）除耐压之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。

除了气体种类，流量范围外准确度和接头形式也很重要，常见的接头形式有卡套接头和VCR接头，接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10；英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。

什么是气体质量流量控制器？

气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用，更主要的是，它能控制气体流量，即客户可按照需求设定流量，MFC会自动地将流量稳定在设定值上，即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变，也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。

质量流量控制器能用比例阀代替吗？

不可以的，一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀，虽然可以起到一定的流量调节作用，但无法做到准确，稳定的流量控制，而气体质量流量控制器（MFC）是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流，是可以实现准确、稳定的流量控制，并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号，比例阀根本满足不了MFC能起到的作用。